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行程(X、Y、Z)

400*300*200mm

外形尺寸（L *W *H）

1030*750*1800mm

重量（KG）

500kg

承重（KG）

30kg

测量精度

XY轴≤(1.2+L/250)μm

0.1（STIL 点光谱共焦传感器）

重复精度

≤1

速度

500

加速度

3000

传动系统

直线电机全闭环驱动

最小读数

0.1μm

视觉系统

8级变倍4K高清（1X-216X）

光源

表面光：可程控亮度连续可调白色LED多角度,六环八区环形表面光，

轮廓光：远心底光

同轴光：可程控亮度连续可调白色LED；